• PS 系列 乾式螺旋真空泵

    • 型號

    • 產品簡介

    • 真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr (搭上魯式泵浦可達7.5 × 10-4 Torr)。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍層，因此可適用於各類嚴苛製程

    • 規格

產品介紹

泵浦 溫度控制精準

乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命

密封馬達安全性高

真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險

微電腦控制保護周全

真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業

專利轉子線型設計

利用螺旋轉子的流體傳輸特性，搭配轉子線型專利設計，可於運轉中有效防止氣體回漏，適合各種嚴苛製程


以下為漢鐘精機股份有限公司所提供的乾式真空泵浦的型號種類

PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型為無罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

乾式螺旋真空泵浦 S／N型的型號有：
PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802

PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 選配中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機 選配變頻及人性化操控介面 適用於一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用

 

PS系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型之機型分類及其適用解說

機型 適用產業
PS-80-S
PS-160-S
PS-180-S
PS-602-S
PS-902-S
PS-1302-S		 一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用

(簡易泵浦)
PS-80-N
PS-160-N
PS-180-N
PS-602-N
PS-902-N
PS-1302-N
PS-1802-N		 一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用

(選配電控泵浦)

 

PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型為有罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

乾式螺旋真空泵浦 A／H型的型號有：
PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等

PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 整合式氮氣加熱系統，減少氣體沉積，延長保養週期及壽命 中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機 適用於半導體、TFT-LCD、LED等光電產業、太陽能、熱處理應用

 

PS系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型之機型分類及其適用解說

機型 適用產業
PS-80-A
PS-160-A
PS-180-A
PS-602-A
PS-902-A
PS-1302-A
PS-1802-A		 半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業

(電控整合泵浦)
PS-80-H
PS-160-H
PS-180-H
PS-602-H
PS-1302-H
PS-1308-H		 半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業

(高溫泵浦)

 

配合各產業客戶需求，PS 系列真空泵皆可選用氣冷馬達 (PSE系列) 或是 防爆馬達 (PSC系列) 搭配
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